探針卡產品
以精微觸點賦能芯片釋放極致性能
MEMS探針卡
探針卡是晶圓測試環節的核心電性互聯載體，可實現測試機與被測芯片間的精準信號傳輸，通過穩定的通路連接完成芯片電性能參數的高效測試，是保障晶圓良率與性能驗證的關鍵部件。
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產品優勢
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01適配業界主流12英寸晶圓測試場景，技術成熟度高，支持“One Touch-down”大幅提升測試效率
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02兼容行業標桿測試機臺（如T5833、Magnum5），適配性強
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03支持高速、高溫、大電流等復雜工況下的穩定測試
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04提供2D/3D探針配置選項，靈活匹配不同客戶的定制化需求
產品功能
對應產品
覆蓋 DDR3/4/5、LPDDR3/4/5 等存儲類芯片
測試性能
基礎速率達 200MHz/400Mbps，最高支持 333MHz/666Mbps；支持 3000Duts/TD 并行測試
技術參數
最小 pitch：53μm
整卡平坦度：≤30μm
探針總量：180K pins / 片
探針力：0.8gf/1.0gf/1.2gf（@1mil）
最大耐電流：1.2A（@20% force drop）
信號共享能力：支持 ×20 ×24 通道配置
熱膨脹系數：可選 3.6ppm/℃（及 2.8/3.6/4.0/4.3/5.3 等規格）
